檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "氧".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="電漿處理"
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由於金屬氧化物薄膜電晶體獨特的製程特質及材料特性,使它們在新興的薄膜電晶體應用上成為最具有競爭性的選擇,包含均勻性好可以應用在大尺寸的面板、低溫製程而應用於可撓式的結構以及低成本製作等特殊需求的產品…
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本論文主要利用冷壁式有機金屬化學氣相沉積法 (Cold-wall metal organic chemical vapor deposition, MOCVD) 製備銳鈦礦二氧化鈦 (Anatase…
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地表的二氧化碳濃度日益升高,對環境產生重大影響,若能有效將二氧化碳轉換成高價值之化學品,可產生正向循環。 本論文成功以熱蒸鍍與化學氣相沉積法成長二硫化鉬薄膜於二氧化矽與氧化鋁基板上,再藉由氫氣與氮氣…
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四甲基氫氧化銨(TMAH)在現今被廣泛使用於薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)及半導體工業製程中。因四甲基氫氧化銨具毒性且含有氮源,故在排放前必需經過特別的廢水處理程序。在此研究中,探討利用活性…